1. 工作原理

• 螺杆式真空泵：通过主、从动转子的啮合转动，使吸气段的封闭空间变大来吸入气体。随着泵的继续运转，封闭空间从进气端向排气端移动，气体在压缩后被排出。
• 活塞式真空泵：基于活塞的上下运动。当活塞向上运动时，形成负压空间吸入气体；当活塞向下运动时，形成高压空间排出气体。通过连续的上下往复运动，实现气体的抽取。

2. 结构特点

• 螺杆式真空泵：结构相对简单，体积小，转子结构复杂但精度要求高。螺杆转子通常采用高等级材料制造，并经过精密加工和动平衡试验。此外，螺杆真空泵还包括齿轮、轴承、轴封等关键部件。
• 活塞式真空泵：结构主要包括泵体、气缸、活塞、阀门和配套驱动机构等部件。泵体是承载部件，气缸容纳活塞运动，活塞通过与气缸的密封配合产生气压差。

3. 性能特点

• 螺杆式真空泵：运行功率较小、噪声较低、泵运行温度较低。适用于高流量和高真空度的场合。
• 活塞式真空泵：虽然结构相对复杂，但可以达到更高的真空度。广泛应用于电子、食品、医药等行业，适用于中小型真空系统。

4. 应用领域

• 螺杆式真空泵：由于其清洁无油、结构简单的特点，在需要清洁真空环境的行业，如半导体、医药、石化等，得到广泛应用。
• 活塞式真空泵：其结构简单、操作容易和抽取能力强等特点，使其在科研实验、化工工业、制药工业、电子工业、食品工业等领域得到广泛应用。

5. 维护与保养

• 两者都需要定期检查和维护，但螺杆式真空泵由于其结构特点，维护相对简单。而活塞式真空泵由于结构较复杂，可能需要更多的维护工作。