一、机组概述
干式FSDP防腐螺杆真空泵机组，又称为干式螺杆真空泵，是一种利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的螺杆进行气体压缩和抽取的真空设备。其设计特别注重防腐性能，可以抽除含有大量水蒸气和多种腐蚀型介质的气体。
二、工作原理
干式FSDP防腐螺杆真空泵机组的工作原理基于螺杆的旋转运动和气体的压缩。通过两个相互啮合而不接触的螺杆在泵壳中的高速反向旋转，将螺旋槽分隔成多个空间、多级压缩腔体。气体在螺杆的旋转下被吸入并压缩，然后随螺杆的运动排出泵体，从而达到产生真空的目的。
三、产品特点
- 防腐性能：机组采用特殊的防腐材料和涂层处理，能够抵抗多种腐蚀性气体和介质的侵蚀，保证长期稳定运行。
- 高效节能：螺杆的旋转使得气体被连续地压缩和抽取，形成高效的真空产生能力。同时，由于其设计特点，机组在运行过程中能耗较低。
- 环保无污染：由于采用干式运行方式，无需润滑油或其他介质，因此不会产生废水和废油排放，对环境无污染。
- 稳定性好：螺杆与螺杆、螺杆与泵体之间都有一定的间隙，使得机组在运行时相互之间无摩擦，运转平稳、噪音低。
- 适用范围广：机组可抽除含有大量水蒸气和多种腐蚀型介质的气体，适用于多种恶劣环境下的真空需求。
四、主要应用
干式FSDP防腐螺杆真空泵机组广泛应用于半导体行业、医疗和制药业、光伏、食品行业、航空和核工业等多个领域。在这些领域中，机组能够满足对洁净真空高要求的环境，如半导体工业中的晶圆制造、薄膜沉积和化学气相沉积等过程；医疗和制药业中的灭菌、蒸馏、冷冻干燥和提纯等过程；光伏生产中的太阳能电池板制造等。
五、技术规格
- 极限真空度：可达一定的高真空水平（具体数值需根据具体型号和规格确定）。
- 抽气速率：根据机组型号和规格的不同，抽气速率有所不同，一般可满足多种应用需求。
- 防腐涂层：机组表面及螺杆表面可进行镀镍以及渗哈氏合金涂层处理，以提高防腐性能